无尘车间的温度和湿度主要根据生产工艺要求确定。在满足生产工艺的条件下，应首先考虑人的舒适性。随着空气洁净度要求的提高，工艺对温湿度的要求越来越高，必须满足一定的温湿度要求。比如大规模集成电路生产的光刻曝光过程中，温度升高可能会引起线膨胀，湿度值一般较低。
对于大多数洁净空间，为了防止外界污染的侵入，需要保持内部压力(静压)高于外部压力(静压)。压差的维持一般应符合以下原则：
1.具有高清洁度水平的空间的压力高于具有低清洁度水平的相邻空间的压力。
2.相通的洁净室之间的门应向洁净度高的房间敞开。
3.洁净空间的压力高于不洁净空间的压力。
