洁净空间的减少，意味着风量比、换气次数、送风耗电量都会降低。每平方米洁净室的能耗是普通空调办公楼的10~30倍。如果洁净体积减少30%，则可节能25%。因为万级洁净区的耗电量是10万级洁净区的2.5倍，所以企业要集中精力在不同的空气洁净度级别上，尽量减少洁净室尤其是高级洁净室的面积。
同时，洁净度要求高的洁净室应尽可能靠近空调机房，以减少管道长度和能量损失。减小洁净空间体积的实用技术之一是建造洁净隧道或隧道式洁净室，既能满足生产中高洁净度环境和节能的双重要求，又能将洁净工艺区的空间缩小到最小，大大减少风量。此外，洁净隧道层流罩装置可用于抵御低洁净度操作区对高洁净度工艺区可能产生的干扰和污染。在总风量相同的情况下，罩前洁净横截面积可扩大5~6倍。同时可以通过洁净室、洁净工作台、自净化器、微环境等形式实施局部气流防护，如带层流装置的称重工作台、带层流装置的灌封机等，以维持该区域的高洁净水平要求，减少洁净空间体积。
