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鸿洁源净化无尘车间工作规划及流程

发布时间:2022-04-05人气:567

关于如何开启洁净空调、多久更换一次空气过滤器等一系列工作,鸿洁源洁净为洁净车间制定了一套设备开启和维护计划。


一、步入无尘车间的准备工作;

1.进入洁净车间前,必须经过净化工程公司的专业培训。

2.进入洁净车间严禁吸烟、吃(喝)东西和吃东西。外来杂物(如报纸、杂志、铅笔等。)不准带入,严禁乱跑,互相聊天。

3.进入洁净室前,在指定地点脱鞋,鞋子放在鞋柜里,外套放在衣柜里,个人物品放在私柜里,柜子里不要放食物。

4.进入洁净室前,必须先在更衣室按规定和程序戴好口罩、无尘帽、无尘衣、鞋套,然后在空气洁净室洗去灰尘,踩上除尘地毯(洁净室地板上)后才能进入。

5.戴口罩时,口罩要戴在鼻子上,盖住嘴和鼻孔,以免呼吸时污染芯片。

6.穿干净衣服时,要先整理好衣服和头发,再戴干净帽子,以免穿干净衣服后感到不舒服。

7.梳洗完毕,先戴上无尘帽。无尘帽的佩戴原则是:

(1)头发必须完全覆盖在帽内,不能外露。(2)无尘帽的下摆要均匀的铺在肩膀上。穿上工作服后,下摆不会掉出来,露出肩膀和脖子。

8.戴好无尘帽后,穿上无尘服。无尘服要大小合适,避免裤腿或短袖暴露皮肤的风险。穿衣时注意保持帽檐平整,无尘服不可反穿。净网-] R10W3360W9 * 42BV9。

9.穿上干净的衣服后,套上鞋套,拉起鞋套,把鞋套放平,真正盖住裤腿。

10.戴手套时,应避免徒手接触手套的手掌和指尖(防止钠离子污染)。戴上手套后,要把手套的手腕套在袖子里,隔离污染源。

11.干净的衣服穿戴妥当后,洗去灰尘,踩上防尘毯,才能进入洁净室。

12.无论进出洁净室,都要按规定在更衣室脱干净衣服,在其他区域不能脱,尤其是在洁净室行走时。

13.无尘衣物、鞋套等。应该定期清洗。如果损坏,应在离线时立即更换。

14.脱干净衣服时,顺序与穿衣服时相反。

15.脱下无尘服,挂在更衣室上层柜子里;鞋套要放在悬挂的无尘服下面。

16.更衣室内,除干净衣服等指定物品外,不得放置其他物品。

17.除规定的纸张和物品外,其他物品不得带入洁净室。

18.无尘衣物等。不得从洁净室中取出,并在使用后放置在指定的地方。

19.口罩和手套可根据情况自行保留或重复使用。

20.任何进入洁净室的东西都必须用清洁剂擦拭干净。

21.任何设备进入请通知经理,进入前在洁净室外擦拭干净。

22.检验不合格的仪器禁止使用。在紧急情况下,可以按照紧急处理步骤进行适当的处理,例如关闭水、电、气的开关。

23.千万不要在洁净室用火,以免发生意外。


二、洁净室操作说明:

1、处理芯片时,必须戴无纤维手套,使用清洁的镊子夹住芯片,不要用手指或其他任何东西接触芯片。被触摸和污染的芯片必须清洗干净后才能再次使用:

(1)如果任何镊子的前端(即夹持芯片的那一端)被触摸,或者镊子掉到地上,都必须清洗干净。不要用纸巾或布擦拭脏镊子。

(2)如果在清洗后和下一个程序之前用手指触摸芯片,必须再次清洗。

(3)当芯片放在应时舟上准备放入炉管时,如果发现所用的镊子污损或芯片上有明显的镊子污染,必须再次清洗芯片,并立即更换干净的镊子。

2.芯片一定要放在盒子里,盖好,存放在指定的位置,尽量不要暴露。

3.避免对着芯片说话,防止口水溅到芯片上。在芯片进入扩散炉之前,请特别注意防止上述动作。如果芯片沾有纤维屑,用氮气枪喷。

4.从聚四氟乙烯晶舟、应时晶舟等载体上取出芯片时。时,芯片必须垂直举起,以免刮伤芯片。只有当显微镜镜头远离芯片时,才能将芯片从吸座中取出。

5.如果芯片上生长了氧化层,在将芯片送到黄灯室之前,不要用金刚石刀在芯片上雕刻。

6.操作时,无论是否戴手套,绝对不能将手放入洗涤槽中。

7.当使用化学工作站或烤箱处理芯片时,请确保将芯片放在特氟隆水晶舟内,不要使用塑料盒。

8.将芯片放在应时舟上时,如果芯片掉到地上或手上,必须再次清洗,然后放入氧化炉中。

9.请不要触摸芯片盒的内部。如果被碰过或被碎屑污染,必须再次清洗。

10.手套、废纸和其他杂物不应留在控制台内。如果手套烧焦、磨损或纤维质量改变,必须更换。

11.在没有说明的情况下,切勿打开不熟悉的仪器和各种开关阀控制旋钮或手柄。

12.如发现溶液有异味或异常反应、颜色、声音等,请立即通知相关人员。

13.当仪器因操作失误而损坏时,务必立即通知负责人或老师。

14.芯片箱进出洁净室必须保持清洁,并用保鲜膜密封,违者不得入内。

15.所有洁净室应使用圆珠笔和干净的笔记本做记录,一般纸张和铅笔不得带入。


三、黄灯区域1的操作说明:

1.湿度和温度会影响校准工作。注意黄灯区域的温度和湿度,减少对准机附近的人数,减少湿度和温度的变化。

2.光刻胶未曝光的芯片不要出黄光区,以免感光。

3.光刻胶已经装好,等待对准曝光的芯片要放在不透明的蓝黑色水晶盒里,盒盖一定要盖好。

4.使用面膜时,应取边缘,不可触摸面膜表面。在任何情况下,口罩的铬膜都不能与其他物体接触,以防划伤,口罩的灰尘可以用氮气枪吹掉。

5.曝光时避免眼睛直视曝光机的汞灯。


镊子使用说明:1.进入实验室后,取镊子前要戴上手套,以免污染。

2.只有干净的镊子才能用来夹住芯片。一旦镊子掉在地上或者被手碰到,或者因为其他原因被污染必须拿去清洗,方可再使用。

     

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