在一定的空间范围内，消除空气中的颗粒物、有害空气、细菌等污染物，将室内温度、洁净度、压力、风速和气流组织、噪声和振动、照明、静电等控制在一定需求范围内的工程学科。净化院专门设计的房间，无论外界空气条件如何变化，都具有保持原设定要求的洁净度、温度、湿度和压力的功能。
控制产品(如硅片等)所处环境的清洁度、温度和湿度。)联系，使产品能在良好的环境下生产制造。这个空间的设计和建造过程可以称为净化工程。
湍流
空气从空调箱通过洁净室的风管和空气过滤器(HEPA)进入洁净室，经洁净室两侧的隔墙或高架地板返回。气流以非线性方式运动，并处于不规则的湍流或涡流状态。该类型适用于1000-100000级洁净室。
优点：结构简单，系统建设成本低，洁净室易于扩展。在一些特殊用途的场所，可以配合洁净室车间使用，提高洁净室等级。
缺点：湍流产生的尘粒漂浮在室内空间，不易排出，容易污染工艺产品。此外，如果系统在关闭后重新启动，通常需要很长时间才能达到所需的清洁度。
层流
层流气流运动成平均直线，空气通过100%覆盖的过滤器进入室内，由两侧高架地板或隔墙板返回。这种类型适用于洁净室等级要求高的环境。一般洁净室级别为1~100级。它可以分为两种类型：
(1)水平层流：水平空气从过滤器向一个方向吹出，由对面墙上的回风系统送回。灰尘随风排放到外面。一般来说，下游污染严重。
优点：结构简单，可在术后短时间内变得不整洁。
缺点：建设成本比紊流高，室内空间不易扩展。
(2)垂直层流：房间天花板全覆盖ULPA过滤笼，空气自上而下吹，可获得更高的洁净度，将过程中或工作人员产生的粉尘快速排出室外，不影响其他工作区域。
优点：易于管理，术后短时间内可达到无紊乱状态，不易受作业状态或作业人员影响。
缺点：结构造价高，空间灵活利用困难，吊顶的吊架按比例占用空间，维修更换滤网麻烦。
复合类型：
复合型是湍流和层流的结合或组合，可以提供局部超净空气。
(1)洁净隧道：工艺区或工作区100%笼盖HEPA或ULPA过滤器，可将洁净度提高到10级以上，节省安装和运行费用。在这种类型中，作业人员的工作区域应与产品和机器维修隔离，以避免在机器维修期间影响工作和质量。这种类型多用于ULSI工艺。
干净的隧道还有另外两个优点：a .灵活扩展容易；b .设备维修可以在维修区随便进行。
(2)洁净管：产品流经过的自动化生产线被旁通净化，洁净度等级提升到100以上。由于产品与作业人员和多尘环境隔离，少量送风即可达到良好的洁净度，节约能源，不需要人工操作的自动化生产线最适合使用。医药，食品工业，半导体工业都是一起用的。
(3)局部清洁点并联安装：洁净室级别为10000 ~ 100000的湍流洁净室中产品工艺区洁净度级别提高到10 ~ 1000或以上，考虑用于生产；洁净工作台、洁净工棚、洁净空气柜都属于这一类。
