洁净室技术是为满足实验研究和产品加工的精密、小型化、高纯度、高质量和高可靠性的要求而诞生的新技术。洁净室的概念起源于19世纪60年代的欧洲医学，当时仅限于处置室、手术室等灭菌处理的工作环境，可以控制喷洒消毒后伤口的感染率。
二战期间，美国制造的用于飞机导航的气浮陀螺仪。
50年代初朝鲜半岛战争期间，电子元器件质量不稳定，美国关闭了生产车间，收效甚微。
1951年，高效空气过滤器研制成功并应用于生产车间的送风过滤，洁净室真正诞生了。
1961年，Whitefield提出层流(现单向流)方案，并应用于实际工程，洁净室达到了前所未有的更高洁净度水平。同年，美国发布了第一个洁净室标准，并于1963年将洁净室分为三级。
60年代中期，洁净室在军工、电子、光学、微型轴承等工业部门的应用得到推广。
70年代初，洁净室建设的重点转移到医疗、制药、食品等行业。
