我相信任何企业都非常关心洁净室的能耗。上海鸿洁源净化通过十余年的净化设计和施工经验，对半导体洁净室内外的能源负荷进行了说明，并对半导体洁净室可能的节能方法进行了逐一详细的说明。
A.室内负荷：
(a)人员(显热=6千卡/小时，潜热=5千卡/小时)
(b)照明：30W/(在黄灯区，这个值应该大1.5倍左右)
(c)机器负荷：输入功率x负荷系数冷却循环水负荷=循环水流量x水温差(此处温差在5左右)排气负荷=排气量x排气温差，此处排气温差可分为三类：1 .酸气、有机气或紧急排气的排气温差一般为5，2。不可燃气体的排气温差约为10，3。产生高温的机器的排气装置的排气温差在20左右。
(d)鼓风机热负荷：输入功率x负荷系数。
B.室外负载：
室外空气输入x室内外空气的焓差，其中室外空气输入包括排气量加上换气和维持正压所需的人员数量。在分析半导体洁净室的能耗时，我们必须明白，一般的工作区分为1个制造区，即fab区，2个组装区和测试区。通常每个区的洁净度和要求水平会有所不同，洁净室的结构也会有所不同。如图所示，A.H.U系统通常与作为装配区或测试区的紊流洁净室配合使用。如果洁净室的设计采用湍流式，吊顶内不要充满过滤器，过滤器的面积与吊顶面积的比值必须达到一定值，才能保证洁净度。而且，由于气流分布的关系，通常在过滤器的出口处安装扩散器，以加强过滤器出口空气的扩散面积。对于工厂区域，目前有三种常见的洁净室设置，即开放式隔间系统、风扇过滤单元系统和风扇模块系统。它们的原理图分别如图2、3和4所示。通常在选择FAB区域的洁净室类型时，必须考虑生产、维护、使用寿命和初投资能耗等因素，进行综合考虑。以上三种类型各有利弊，选择必须多方考虑。目前最佳方案的确定尚无定论，仍需研究。目前，普遍认为风机-过滤单元系统和风机-模块系统比开间系统具有更大的节能空间。
就半导体洁净室的负荷特性而言，无论上述三个FAB区的洁净室类型如何，暖通空调的热负荷都远高于普通建筑。其中，建筑物的穿透负荷、人员和灯光负荷与普通办公室相差不大，但室外空气负荷、机器负荷和风机负荷占全部暖通负荷的90%以上，其中室外空气负荷实际占45 ~ 45%。
