洁净室的定义
洁净室,又称洁净室或洁净室。“洁净室”是指为清除一定空间范围内空气中的颗粒、有害空气、细菌等污染物,将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度及分布、噪声、振动、照明、静电等控制在一定需求范围内而专门设计的房间。也就是说,无论外界空气条件如何变化,房间都能具有保持原有设定要求的洁净度、温度、湿度、压力等性能的特性。洁净室最重要的功能是控制产品(如硅片等)的洁净度、温度和湿度。)接触,使产品能够在一个良好的环境空间中生产制造,我们称之为洁净室。
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洁净室的定义
洁净室,又称洁净室或洁净室。“洁净室”是指为清除一定空间范围内空气中的颗粒、有害空气、细菌等污染物,将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度及分布、噪声、振动、照明、静电等控制在一定需求范围内而专门设计的房间。也就是说,无论外界空气条件如何变化,房间都能具有保持原有设定要求的洁净度、温度、湿度、压力等性能的特性。洁净室最重要的功能是控制产品(如硅片等)的洁净度、温度和湿度。)接触,使产品能够在一个良好的环境空间中生产制造,我们称之为洁净室。