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洁净室洁净度等级分类的原因

发布时间:2023-04-04人气:236

洁净室分类的原因:

(1)洁净室的定义

洁净室,又称洁净室或洁净室。

洁净室是指为消除一定空间范围内空气中的颗粒物、有害空气、细菌等污染物,将室内温度、洁净度、室内压力、风速和气流组织、噪声和振动、照明、静电等控制在一定需求范围内而专门设计的房间。也就是说,无论外界空气条件如何变化,房间都能具有保持原有的洁净度、温度、湿度、压力等性能的特性。

洁净室最重要的功能是控制产品(如硅片等)所处环境的洁净度和温湿度。)都是暴露的,这样产品就可以在一个良好的环境空间里生产制造,我们称之为洁净室。

洁净室等级划分的原因:(2)洁净室等级

世界各国都有自己定义的规范,但一般以美国联邦标准209为最。

美国联邦标准FS 209D采用英制每立方英尺,日本采用公制,即单位为每立方米,以0.1m颗粒为计数标准。日本标准符号由1级、2级、3级表示.八班。成绩最好的是1班,最差的是8班。它是将每立方米的尘粒总数换算成10的次方,取其指数而得。

洁净室分类的理由:(3)洁净室控制项目

1.清除空气中的灰尘颗粒。

2.它可以防止灰尘颗粒的产生。

3.温度和湿度控制。

4.压力调节。

5.消除有害气体。

6.结构和隔间的气密性。

7.静电防护。

8.防止电磁干扰。

9.安全考虑。

10.节能的考虑。

洁净室分类的理由:(4)洁净室的分类

1.乱流:空气从空调箱通过洁净室的风管和空气过滤器进入洁净室,由洁净室两侧的隔断墙板或高架地板回流。气流以非线性方式运动,并处于不规则的湍流或涡流状态。该类型适用于1000-100000级洁净室。

2.分层流动:分层气流成均匀直线流动,空气通过覆盖率为100%的过滤器进入室内,由两侧高架地板或隔板返回。该类型适用于洁净室级别需要较高的环境,一般洁净室级别为1~100级。它可以分为两种类型:

(1)水平层流:水平空气从过滤器向一个方向吹出,由对面墙上的回风系统送回。粉尘随风向外排放,下游侧污染普遍严重。

(2)垂直层流:房间天花板完全覆盖一层过滤网,空气自上而下吹,可以获得更高的洁净度。在过程中或由工人产生的灰尘可以快速排出到外面,而不影响其他工作区域。

3.复合类型:

复合型是湍流和层流的结合或组合,可以提供局部超净空气。

(1)洁净隧道:HEPA或ULPA过滤器100%覆盖工艺区或工作区,可将洁净度提高到10级以上,节省安装和运行费用。这种类型需要将操作人员的工作区域与产品和机器的维修分开,避免在机器维修过程中影响工作和质量。这种类型主要用于ULSI工艺。

(2)清洁管道:对产品流经过的自动化生产线进行环绕净化,将洁净度等级提高到100以上。由于产品与工人和多尘环境隔离,少量送风即可达到良好的洁净度,节约能源,不需要人工操作的自动化生产线最适合使用。适用于制药、食品和半导体行业。

(3)并联安装局部洁净室:洁净室级别为10000 ~ 100000的湍流洁净室中产品工艺区洁净度级别提高到10 ~ 1000以上用于生产;洁净工作台、洁净工棚、洁净空气柜都属于这一类。

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