洁净室分类的原因：
(1)洁净室的定义
洁净室，又称洁净室或洁净室。
洁净室是指为消除一定空间范围内空气中的颗粒物、有害空气、细菌等污染物，将室内温度、洁净度、室内压力、风速和气流组织、噪声和振动、照明、静电等控制在一定需求范围内而专门设计的房间。也就是说，无论外界空气条件如何变化，房间都能具有保持原有的洁净度、温度、湿度、压力等性能的特性。
洁净室最重要的功能是控制产品(如硅片等)所处环境的洁净度和温湿度。)都是暴露的，这样产品就可以在一个良好的环境空间里生产制造，我们称之为洁净室。
洁净室等级划分的原因：(2)洁净室等级
世界各国都有自己定义的规范，但一般以美国联邦标准209为最。
美国联邦标准FS 209D采用英制每立方英尺，日本采用公制，即单位为每立方米，以0.1m颗粒为计数标准。日本标准符号由1级、2级、3级表示.八班。成绩最好的是1班，最差的是8班。它是将每立方米的尘粒总数换算成10的次方，取其指数而得。
洁净室分类的理由：(3)洁净室控制项目
1.清除空气中的灰尘颗粒。
2.它可以防止灰尘颗粒的产生。
3.温度和湿度控制。
4.压力调节。
5.消除有害气体。
6.结构和隔间的气密性。
7.静电防护。
8.防止电磁干扰。
9.安全考虑。
10.节能的考虑。
洁净室分类的理由：(4)洁净室的分类
1.乱流：空气从空调箱通过洁净室的风管和空气过滤器进入洁净室，由洁净室两侧的隔断墙板或高架地板回流。气流以非线性方式运动，并处于不规则的湍流或涡流状态。该类型适用于1000-100000级洁净室。
2.分层流动：分层气流成均匀直线流动，空气通过覆盖率为100%的过滤器进入室内，由两侧高架地板或隔板返回。该类型适用于洁净室级别需要较高的环境，一般洁净室级别为1~100级。它可以分为两种类型：
(1)水平层流：水平空气从过滤器向一个方向吹出，由对面墙上的回风系统送回。粉尘随风向外排放，下游侧污染普遍严重。
(2)垂直层流：房间天花板完全覆盖一层过滤网，空气自上而下吹，可以获得更高的洁净度。在过程中或由工人产生的灰尘可以快速排出到外面，而不影响其他工作区域。
3.复合类型：
复合型是湍流和层流的结合或组合，可以提供局部超净空气。
(1)洁净隧道：HEPA或ULPA过滤器100%覆盖工艺区或工作区，可将洁净度提高到10级以上，节省安装和运行费用。这种类型需要将操作人员的工作区域与产品和机器的维修分开，避免在机器维修过程中影响工作和质量。这种类型主要用于ULSI工艺。
(2)清洁管道：对产品流经过的自动化生产线进行环绕净化，将洁净度等级提高到100以上。由于产品与工人和多尘环境隔离，少量送风即可达到良好的洁净度，节约能源，不需要人工操作的自动化生产线最适合使用。适用于制药、食品和半导体行业。
(3)并联安装局部洁净室：洁净室级别为10000 ~ 100000的湍流洁净室中产品工艺区洁净度级别提高到10 ~ 1000以上用于生产；洁净工作台、洁净工棚、洁净空气柜都属于这一类。
