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成都半导体提纯车间装修安全工作规范及防护方案

发布时间:2022-04-11人气:497

成都鸿洁源净化承诺:对于我公司建设的所有洁净室工程,工程完工后,我公司专业技术工程师将对相关人员进行洁净空调如何开启、多久更换一次空气过滤器的培训,并制定出一套洁净室的设备开启和维护方案。


1.进入无尘车间;一号的准备阶段。在进入洁净车间,之前,您必须经过净化工程公司的专业培训。

2.在清洁车间,时严禁吸烟、吃(喝)东西和吃外来杂物(如报纸、杂志、铅笔等)。)不准带入,严禁嬉戏奔跑和同学聚会聊天。

3.进入洁净室前,在指定地点脱鞋,鞋子放在鞋柜里,外套放在衣柜里,个人物品放在私柜里,柜子里不要放食物。

4.进入无尘室须先在更衣室,将口罩,无尘帽,无尘衣以及鞋套按规定依程序穿戴整齐,再经空气洗尘室洗尘,并踩踏除尘地毯(洗尘室地板上)方得进入。

5. 戴口罩时,应将口罩戴在鼻子之上,以将口鼻孔盖住为原则,以免呼吸时污染芯片。

6. 穿著无尘衣,无尘帽前应先整理服装以及头发,以免着上无尘衣后,不得整理又感不适。


7. 整肃仪容后,先戴无尘帽,无尘帽的穿戴原则系:

(1)头发必须完全覆盖在帽内,不得外露。

(2)无尘帽之下摆要平散于两肩之上,穿上工作衣后,方不致下摆脱出,裸露肩颈部。


8..无尘帽戴妥后,再着无尘衣,无尘衣应尺吋合宜,才不致有裤管或衣袖太短而裸露皮肤之虞。

9.穿衣时应注意帽之下摆应保平整之状态,无尘衣不可反穿。 穿著无尘衣后,才着鞋套,拉上鞋套并将鞋套整平,确实盖在裤管之上。

10. 戴手套时应避免以光手碰触手套之手掌及指尖处(防止钠离子污染),戴上手套后,应将手套之手腕置于衣袖内,以隔绝污染源。

11. 无尘衣着妥后,经洗尘,并踩踏除尘毯,方得进入无尘室。

12. 不论进入或离开无尘室,须按规定在更衣室脱无尘衣,不可在其它区域为之,尤不可在无尘室内边走边脱。

13. 无尘衣,鞋套等,应定期清洗,有破损,脱线时,应即换新。

14. 脱下无尘衣时,其顺序与穿著时相反。

15. 脱下之无尘衣应吊好,并放于更衣室内上层柜子中;鞋套应放置于吊好的无尘衣下方。

16. 更衣室内小柜中,除了放置无尘衣等规定物品外,不得放置其它物品。

17. 除规定纸张及物品外,其它物品一概不得携入无尘室。

18. 无尘衣等不得携出无尘室,用毕放置于规定处所。

19. 口罩与手套可视状况自行保管或重复使用。

20. 任何东西进入无尘室,必须用洒精擦拭干净。

21. 任何设备的进入,请知会管理人,在无尘室外擦拭干净,方可进入。

22. 未通过考核之仪器,禁止使用,若遇紧急情况,得依紧急处理步骤作适当处理,例如关闭水、电、气体等开关。

23. 无尘室内绝对不可动火,以免发生意外。


无尘室操作须知

1.   处理芯片时,必须戴上无纤维手套,使用清洗过的干净镊子挟持芯片,请勿以手指或其它任何东西接触芯片,遭碰触污染过的芯片须经清洗,方得继续使用:(1) 任何一支镊子前端(即挟持芯片端)如被碰触过,或是镊子掉落地上,必须拿去清洗请勿用纸巾或布擦拭脏镊子。

(2) 芯片清洗后进行下一程序前,若被手指碰触过,必须重新清洗。

(3) 把芯片放置于石英舟上,准备进炉管时,若发现所用镊子有污损现象或芯片上有显眼由镊子所引起的污染,必须将芯片重新清洗,并立即更换干净的镊子使用。


2. 芯片必须放置盒中,盖起来存放于规定位置,尽可能不让它暴露。

3. 避免在芯片上谈话,以防止唾液溅于芯片上,在芯片进扩散炉前,请特别注意,防止上述动作产生,若芯片上沾有纤维屑时,用氮气枪喷之。

4. 从铁弗龙(Teflon)晶舟,石英舟(Quartz Boat)等载具(Carrier)上,取出芯片时,必须垂直向上挟起,避免刮伤芯片,显微镜镜头确已离芯片,方可从吸座上移走芯片。

5. 芯片上,若已长上氧化层,在送黄光室前切勿用钻石刀在芯片上刻记。

6. 操作时,不论是否戴上手套,手绝不能放进清洗水槽。 

7. 使用化学站或烤箱处理芯片时,务必将芯片置放于铁弗龙晶舟内,不可使用塑料盒。

8. 摆置芯片于石英舟时,若芯片掉落地上或手中则必须重新清洗芯片,然后再进氧化炉。

9. 请勿触摸芯片盒内部,如被碰触或有碎芯片污染,必须重作清洗。

10. 手套,废纸及其它杂碎东西,请勿留置于操作台,手套若烧焦、磨破或纤维质变多必须换新。

11. 非经指示,绝不可开启不熟悉的仪器及各种开关阀控制钮或把手。

12. 奇怪的味道或反应异常的溶液,颜色,声响等请即通知相关人员。

13. 仪器因操作错误而有任何损坏时,务必立刻告知负责人员或老师。

14. 芯片盒进出无尘室须保持干净,并以保鲜膜封装,违者不得进入。

15. 无尘室内一律使用原子笔及无尘笔记本做记录,一般纸张与铅笔不得携入。


黄光区操作须知1. 湿度及温度会影响对准工作,在黄光区应注意温度及湿度,并应减少对准机附近的人,以减少湿、温度的变化。2. 上妥光阻尚未曝光完成之芯片,不得携出黄光区以免感光。3. 己上妥光阻,而在等待对准曝光之芯片,应放置于不透明之蓝黑色晶盒之内, 盒盖必须盖妥。4. 光罩使用时应持取边缘,不得触及光罩面,任何状况之下,光罩铬膜不得与他物接触,以防刮伤,光罩之落尘可以氮气枪吹之。 5. 曝光时,应避免用眼睛直视曝光机汞灯。四、镊子使用须知1. 进入实验室后,应先戴上手套后,再取镊子,以免沾污。2. 唯有使用干净的镊子,才可持取芯片,镊子一旦掉在地上或被手触碰,或因其它原因而遭污染,必须拿去清洗,方可再使用。

  

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