《洁净厂房设计规范》:洁净厂房洁净室空气洁净度等级的确定应符合下列要求:
一、当洁净室中有多种工艺时,应根据各工艺的不同要求采用不同的空气洁净度等级。
二、在满足人们生产工艺要求的前提下,洁净室的气流组级宜采用局部工作区空气净化和全室空气净化相结合的方式。
1、层流洁净室和紊流洁净室,以及不同运行班次和服务时间的洁净室,应分别设置洁净空调系统。
洁净室内的计算温、温度、应符合下列规定:
(1)满足生产工艺要求
(2)生产工艺无温、湿度要求时,洁净室温度为20~26度,温度70度。
三、洁净室内应保证一定的新鲜空气量,其数值频取下列风量中的最大值;
1、乱流洁净室总送风量的10%~30%,层流洁净室总送风量的2~4%。
2、补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量。
3、保证室内每人每小时的新鲜空气量不小于40立方米。
四、洁净室正压控制
洁净室必须维持一定的正压。不同等级的洁净室以及洁净区与非洁净区之间的静压差,应不小于5Pa,洁净区与室外的静压差,应不小于10Pa。