“洁净室”是指为清除一定空间范围内空气中的颗粒、有害空气、细菌等污染物，将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度及分布、噪声、振动、照明、静电等控制在一定需求范围内而专门设计的房间。也就是说，无论外界空气条件如何变化，房间都能具有保持原有设定要求的洁净度、温度、湿度、压力等性能的特性。
洁净室最重要的功能是控制产品(如硅片等)所处环境的洁净度、温度和湿度。)都是暴露的，这样产品就可以在一个良好的环境空间里生产制造，我们称之为“洁净室”。
洁净室控制：可以防止尘埃粒子的产生；温度和湿度控制。
洁净室之分类
1.乱流式：空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。
2.层流式：水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向排出室外，一般在下流侧污染较严重；垂直层流式：房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所
3.复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。
