“洁净室”是指为清除一定空间范围内空气中的颗粒、有害空气、细菌等污染物，将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度及分布、噪声、振动、照明、静电等控制在一定需求范围内而专门设计的房间。也就是说，无论外界空气条件如何变化，房间都能具有保持原有设定要求的洁净度、温度、湿度、压力等性能的特性。
洁净室最重要的功能是控制产品(如硅片等)所处环境的洁净度、温度和湿度。)都是暴露的，这样产品就可以在一个良好的环境空间里生产制造，我们称之为“洁净室”。
洁净室控制：可以防止灰尘颗粒的产生；以及温度和湿度控制；消除有害气体；防止静电。
洁净室的分类
1.乱流：空气从空调箱通过洁净室的风管和空气过滤器进入洁净室，由洁净室两侧的隔断墙板或高架地板回流。气流以非线性方式运动，并处于不规则的湍流或涡流状态。
2.地层流：水平层流：水平空气从过滤器一个方向吹出，由对面墙上的回风系统送回，粉尘随风向外排出，下游侧污染普遍严重；垂直气流：房间天花板完全覆盖ULPA过滤网，空气自上而下吹，可以获得更高的洁净度，过程中或工作人员。
3.复合型是湍流和层流的结合或组合，可以提供局部超净空气。
