洁净室的气流是洁净室洁净度的一个重要因素。一般洁净室的气流速度在0.25-0.5m/s之间，属于微风区，容易受到人和机器动作的干扰。虽然提高风速可以抑制这种干扰的影响，保持洁净室的洁净度，但风速的提高会影响运行费用的增加，因此在满足所需洁净度的同时，应提供最合适的风速。
要达到洁净室稳定洁净度的效果，保持均匀的气流是一个重要因素。如果不能保持均匀的气流，说明风速不一样，特别是在墙上，气流会沿着墙打旋。这个时候，想要达到洁净室的高洁净度，其实是非常困难的。
为了保持垂直层流方向的均匀气流，应注意以下几点：
1.吹的风速的快慢一定不能有差别；
2.地板回风板吸力面的风速不得不同。速度过低或过高(0.2m/s，0.7m/s)时会产生涡流，而速度为0.5m/s时气流相对均匀，目前一般洁净室的风速在0.25-0.5m/s之间。
