洁净室的气流速度/换气次数一直是洁净室设计中关注的问题。随着洁净室污染源控制效果和最终过滤器效率的提高，关于相关规范和导则的推荐值或参考值是否偏于保守的讨论已有很多。FFU在应用中人们所担心的噪音、损坏、维护等问题在实践中得到了解决。随着FFU的不断提高，是否采用FFU回风系统也是一个热点：悬浮分子污染(AMC)的控制在微电子和IC行业已经越来越被提上日程并受到关注。以下是对这些问题的总结和分析。
在具有一定洁净度的洁净室中，气流速度的确定随着洁净室的使用而变化。它不仅受室内粉尘排放和过滤效率的影响，还受其他因素的影响。就工业洁净室而言，影响洁净度和气流速度选择的主要因素有：
(1)室内污染源：建筑构件、人员数量和操作活动、工艺设备、工艺材料和工艺本身都是尘粒释放的来源，根据具体情况变化较大；
(2)室内气流形态和分布：单向流动要求流线均匀、均等，但会受到工艺设备的布置和位置变化、人员活动等因素的干扰。形成局部涡流；非单向流动需要填充和混合，以避免死角和温度分层。
