无尘车间为什么要控制温湿度？主要作用和具体措施是什么？
无尘车间的温度和湿度主要根据你的加工工艺要求来决定。在满足加工工艺的条件下，应首先考虑人的舒适性。随着空气洁净度要求的提高，工艺对温湿度的要求越来越高，必须达到一定的温湿度水平。例如，在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，要求作为掩膜材料的玻璃和硅片的热膨胀系数之差越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，引起0.24um的线膨胀，所以需要恒温0.1度，湿度值一般较低，因为人出汗后，产品会被污染，尤其是怕钠的半导体车间，这个车间不要超过25度。湿度过大会导致更多的问题。当相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会发生凝结。如果发生在精密器件或电路中，会造成各种事故。相对湿度50%时容易生锈。
但对于大部分洁净空间，为了防止外界污染侵入，需要保持内部压力(静压)高于外部压力(静压)。压差的维持一般应满足以下原则：
1.具有高清洁度水平的空间的压力高于具有低清洁度水平的相邻空间的压力。
2.相通的洁净室之间的门应向洁净度高的房间敞开。
洁净空间的压力高于不洁净空间的压力。
压差的维持依赖于新风量，新风量可以补偿这个压差下从缝隙漏出的风量。因此，压差的物理意义是泄漏(或渗透)气流通过洁净室各种缝隙的阻力。
对于湍流洁净室，空气的稀释是减少室内污染的主要途径，所以主要采用换气次数的概念，而不是直接采用速度的概念。但是，室内空气流速也有以下要求；
1.送风口出口处的风速不能太高。与空调房间相比，要求速度衰减更快，扩散角更大。
2.气流横过水平面的速度(如侧送时的回流速度)不宜过高，以免将表面颗粒吹回气流中造成二次污染。这个速度一般不应该是0.2m/s。
我国《空气洁净技术措施》和《洁净厂房设计规范》)都是这样规定的。
平行流(层流)洁净室0.25米/秒
平行流(层流)洁净室0.35米/秒
