《洁净厂房设计规范》:洁净厂房洁净室空气洁净度等级的确定应符合下列要求:
1.当洁净室中有多种工艺时,应根据各工艺的不同要求采用不同的空气洁净度等级。
二、在满足人们生产工艺要求的前提下,洁净室的气流组级宜采用局部工作区空气净化和全室空气净化相结合的方式。
1、层流洁净室和紊流洁净室,以及不同运行班次和服务时间的洁净室,应分别设置洁净空调系统。P#iyQ9yYu5s_A
2.洁净室的计算温度和温度应符合下列要求:
(1)满足生产工艺要求
(2)生产过程无温湿度要求时,洁净室温度20 ~ 26度,温度70度。
第三,洁净室要保证一定的新风量,经常取以下风量的最大值;
1.紊流洁净室总送风量的10% ~ 30%,层流洁净室总送风量的2 ~ 4%。
2.补偿室内废气和保持室内正压所需的新鲜空气量。
3.保证室内每小时新风量不小于40立方米。
四.洁净室的正压控制
1、洁净室必须保持一定的正压。不同等级洁净室及洁净区与非洁净区的静压差不应小于5Pa,洁净区与室外的静压差不应小于10Pa。