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净化工程温湿度控制范围-鸿洁源021-69116303详情

发布时间:2023-03-31人气:182

具体净化工艺对温度的要求,由于加工精度越来越精细,对温度波动范围的要求越来越小;要求的湿度值一般较低,因为出汗后会污染产品,尤其是怕钠的半导体车间,不宜超过25度。

湿度过大会导致更多的问题。当相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会发生凝结。如果发生在精密器件或电路中,会造成各种事故。相对湿度50%时容易生锈。此外,当湿度过高时,附着在硅片表面的灰尘会被空气中的水分子化学吸附在表面,很难去除。相对湿度越高,越难去除粘附物。然而,当相对湿度低于30%时,由于静电力,颗粒容易吸附在表面上,并且大量的半导体器件容易被击穿。硅晶片生产的最佳温度范围是35-45%。

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