净化等级一般分为100、1000、10000、100000。现在2010年的GMP净化车间已经不叫这个名字了,分为ABCD级,分别对应98年的几个等级。净化等级由检测区域内的尘埃粒子数、浮游菌数和平均沉降量来评价。每个等级都有不同的要求,净化等级分为静态和动态两个等级。
(1)洁净室之等级世界的所有国家都有自己的规范,但通常使用美国联邦标准209。以下是209D和209E与世界其他国家制定的标准的介绍和比较。209E和209D最大的区别是在209E指示单位上增加了公制单位,洁净室等级用前缀M'表示,如M1、M1.5、M2.5、M3等。以此类推,符合国际公制单位的标准化,字母M后的阿拉伯数字表示为每立方米尘埃粒子数=0.5m的10次方。净网z:Wg1pj美国联邦标准FS 209D采用英制每立方英尺,日本采用公制,即以0.1m颗粒为计数标准。日本标准符号由1级、2级、3级表示.八班。成绩最好的是1班,最差的是8班。它是将每立方米的尘粒总数换算成10的次方,取其指数而得。
(2)洁净室的定义洁净室也叫洁净室或洁净室。“洁净室”是指为清除一定空间范围内空气中的颗粒、有害空气、细菌等污染物,将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度及分布、噪声、振动、照明、静电等控制在一定需求范围内而专门设计的房间。也就是说,无论外界空气条件如何变化,房间都能具有保持原有设定要求的洁净度、温度、湿度、压力等性能的特性。洁净室最重要的功能是控制产品(如硅片等)所处环境的洁净度、温度和湿度。)都是暴露的,这样产品就可以在一个良好的环境空间里生产制造,我们称之为“洁净室”。(三)洁净室控制的项目1。它可以清除空气中漂浮的灰尘颗粒。2.它可以防止灰尘颗粒的产生。3.温度和湿度的控制。4.压力的调整。5.消除有害气体。6.结构和隔间的气密性。7.静电的预防和控制。8.防止电磁干扰。9.安全因素的考虑。10.节能的考虑。