洁净室的排气系统是洁净室中非常重要的系统。洁净室的排气系统有利于洁净室的清洁处理和废气排放，能够快速清理测试现场，保证洁净室保持清洁干净。
一、洁净厂房排风管道的制造应符合以下要求：易燃、有毒排风管道的衬垫材料和固定材料应为不燃材料；风管所用的螺栓、螺母、垫圈、铆钉应采用与管道性能相适应且不产生电化学腐蚀的材料，或采用镀锌等防腐措施；镀锌钢板不应被镀锌层严重损坏，如表层大面积白花、涂层粉化等。风管法兰螺栓与铆钉孔之间的距离不应大于100；矩形风管法兰的四角应设有螺孔。
二、当排风管道穿过防火防爆墙、天花板或地板时，应设置保护套管，套管钢板厚度不应小于1.6。防护套管应提前预埋并可靠固定；风管与保护套之间，应用不燃材料密封。排风管道的安装应符合下列要求：输送易燃易爆介质的排风管道或安装在爆炸危险环境中的风管应良好接地；当排风管道穿过洁净室(区)的墙壁、天花板和地面时，应配备套管和密闭结构；不允许其他管道穿过排气管；室外排气立管应采用拉索固定，严禁与避雷针或避雷网连接。
三、排气设备的搬运和吊装应符合以下要求：排气设备的搬运和吊装应符合产品规范的相关要求，并做好相关防护工作，防止设备损坏或搬运性能下降；大中型设备搬运和吊装前，应根据外形尺寸、重量、产品规格、安全生产要求等，制定安全可行的搬运和吊装方案。并经建设单位和项目监理批准后实施。
